实际生产中的三坐标测量仪一般会配备一个精度很高的铸铁平台作为工作台，工作台的宽度较窄而长度很长，平台上配有导轨，来适应工件的来回移动。
三坐标其工作原理是利用光栅绕射所制成的量测系统俗称光学尺，其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺，藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理，由光电管接收其信号，经放大及修正后即可显示出来，其系统及输出信号情形。
1、量测前准备： 
（a）检查空气轴承压力是否足够 
（b）安装工件 
2、测头选择及安装： 
（a）将适当之测头装于Z轴承接器 
（b）检视Z轴是否会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀） 
（c）锁定各轴之适当位置 
3、量测操作： 
（a）开启处理机电源 
（b）启开打印机开关 
（c）参考操作手册，选择所需功能之指令 
（d）进行量测，并读出量测值 
4、完成后注意事项： 
（a）Z轴移至原来位置后，锁定 
（b）X,Y轴各移至zhongyang，锁定 
（c）关电源及压力阀 
（d）取下测头 
（e）并作适当的保养
三坐标这种的仪器，一般经过一年左右的使用就要进行定期的维护和调整，以便保证检测的精度。